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金刚石粉悬浮液超声预处理促进金刚石成核特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本工作发展了一种金刚石粉悬浮液超声预处理方法,有效地促进了各种衬底材料特别是绝缘材料上金刚石膜的成核,大大提高成核密度,使硅和石英玻璃上金刚石晶粒密度分别达到l Olo和10'cm-Z,并使成核的孕育期缩短到S分钟,获得了连续的超薄金刚石膜.本文同时提出了这种预处理方法促进成核的机理. 相似文献
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