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三氧化钼薄膜的制备和结构研究 总被引:4,自引:0,他引:4
采用溶胶-凝胶法成功制备了三氧化钼(MoO3)薄膜,首先,以CH3COCH2COCH3,MoO3,C6H5CH3和HOCH2CH2OCH3为原料合成三氧化钼溶胶和凝胶。凝胶的热重和差热分析(TG-DTA)显示三氧化钼的晶化出现在508℃附近的140℃范围内。其次,利用旋转涂布法在硅(111)基片上通过450℃退火处理制备了三氧化钼薄膜。XRD和FTIR谱表明薄膜为α-MoO3相。SEM形貌像显示薄膜中晶粒分布均匀致密,在基片表面无择优取向;晶粒尺度范围在0.5-1μm之间。 相似文献
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