排序方式: 共有9条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
采用磁增强活性反应离子镀系统成功地合成了立方氮化硼薄膜.通过给基片施加脉冲直流偏压以代替传统的射频偏压,增强了立方氮化硼的成膜稳定性,研究了基片的直流脉冲偏压、等离子体放电电流、通入气体流量比(Ar/N2)和基片温度沉积参数对立方氮化硼薄膜形成的影响规律.结果表明:随着基片负偏压和放电电流的增大,薄膜中立方氮化硼的纯度提高,当基片负偏压为155V,放电电流为15A时,可获得几乎单相的立方氮化硼薄膜.基片温度为500℃和Ar/N2流量比为10时,最有利于立方氮化硼
关键词:
立方氮化硼
活性反应离子镀
脉冲偏压 相似文献
2.
对铝合金LY12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入,从而在铝合金表面形成氮化铝(A1N)/类金刚石碳膜(DLC)改性层,考察了改性层的硬度及其在不同载荷下的滑动摩擦磨损特性;用X射线光电子能谱仪和小掠射角X射线衍射仪分析了A1N/DLC改性层的成分及相结构,用激光Raman光谱仪分析了表面单一碳层及磨痕的结构,结果表明:A1N/DLC改性层总厚度达800nm,最表层为厚400nm的DLC薄膜,过渡层主要由A14C3、β-C3N4、Al2O3及AlN等组成,注氮层由Al2O3和lN等组成;表面纳米硬度可达17.4GPa,比LY12的硬度高近10倍;在低载荷下,改性层的耐磨寿命与LY12合金相比提高了约20倍,摩擦系数降低了3-5倍,耐磨性提高了近170倍;随着滑动载荷的增加,其耐磨寿命和摩擦系数逐渐减小,而高的承载能力得以保持,DLC薄膜的耐磨减摩作用、过渡层及注氮层的支撑作用以及DLC薄膜在摩擦磨损过程中的石墨化作用是摩擦学性能提高的主要原因。 相似文献
3.
在LY12铝合金氮等离子体基离子注入的基础上,制备了3种含不同中间层的碳改性层,用X射线光电子能谱仪分析了改性层的成分分布,考察了中间层对改性层同钢球对摩时的摩擦学性能的影响.结果表明:所制备的碳层改性层表层为平整、光滑、致密的类金刚石碳膜,在界面上注入的碳与中间层反应生成连接化合物,从而使得其表面硬度及摩擦学性能大幅度提高;中间层使改性层结构、厚度及表面形貌发生变化,进而对其表面硬度及摩擦学性能产生影响,其中以注钛后注氮钛中间层所对应的改性层摩擦学性能最佳;但随载荷增加,改性层加速减薄,摩擦学性能降低. 相似文献
4.
Ti1—xAlxN涂层的组织结构及Al元素的作用机理 总被引:10,自引:0,他引:10
通过不同Al含量的Ti-Al粉末冶金靶,采用多孤离子镀技术制备了Ti1-xAlxN涂层。用SEM、XRD、GAXRD以及XTEM等手段研究了涂层的组织结构及Al元素的作用。研究表明,TiAlN涂层呈柱状多晶组织,(Ti,Al)N为涂层的主要组成相;随着Al含量的增加,涂层中的(Ti,Al)N相将减少,且其晶格常数将降低。 相似文献
5.
Al对Ti1-xAlxN涂层高温氧化动力学的影响 总被引:4,自引:0,他引:4
采用不同Al含量的Ti Al热压粉末冶金烧结靶 ,通过多弧离子镀方法制备了Ti1 xAlxN涂层 .用AES等手段研究了涂层的抗高温氧化特性 ,着重研究了不同Al含量涂层的高温氧化动力学 .研究表明 ,一定量Al元素的加入提高了涂层的抗高温氧化温度 ,Ti0 .7Al0 .3 N涂层的抗高温氧化能力最好 ,其最高温度达 80 0℃以上 ;随着涂层中Al含量的不同 ,各涂层的抗高温氧化性能从优到劣依次为 :Ti0 .7Al0 .3 N >Ti0 .5Al0 .5N >Ti0 .93 Al0 .0 7N >TiN . 相似文献
6.
类金刚石碳膜的摩擦学特性及其研究进展 总被引:15,自引:17,他引:15
从类金刚石碳膜作为耐磨涂层的角度出发,综述了近年来国际上关于类金刚石碳膜摩擦学特性的大量研究,着重讨论了影响类金刚石碳膜摩擦学特性的主要工艺参数和因素,阐明了类金刚石碳膜与金刚石膜在性能上的差异,指出了类金刚石碳膜的发展现状和趋势。 相似文献
7.
研究了等离了体渗氮过程中La在密排六方ε-Fe-3N(ε)和面心立方γ′-Fe4N(γ′)双相中的扩散动力学规律,与γ′相或ε+γ′双相比较,发现ε相对La的扩散具有阻碍作用,一定温度下,随着渗氮时间的延长,ε相不断分解出γ′相,La在单相(如γ′相)和双相ε γ′中的扩散深度分别呈抛物线和近似指数规律增加,提高渗氮温度,La扩散的深度增加,但其扩散动力学规律并未因此而改变,温度从520度升高至560度使La扩散深度的增量较因相结构由ε转变为γ′相而引起的层深增加要小。 相似文献
8.
稀土对工业纯铁共渗硼铝动力学的影响及计算机拟合 总被引:7,自引:0,他引:7
采用膏剂法在890,920和950℃对工业纯铁进行稀土硼铝共渗及硼铝共渗,考察了稀土在各温度条件下对渗层生长动力学的影响。根据试验结果,通过计算机拟合给出了渗层生长动学曲线并建立了方程。 相似文献
9.
分别采用具有和不具有弯曲弧磁过滤器的两种真空阴极弧离子镀方法,在不同工艺参量下制备了类金刚石碳膜.采用Raman光谱和X射线光电子能谱(XPS),分析了不同工艺参量下的类金刚石碳膜的键结构,通过对Raman光谱的D峰、G峰和C1s电子结合能峰位、强度的对比,详细讨论了沉积工艺参量对类金刚石碳膜结构的影响.研究发现,不同工艺下具有高强度D峰Raman光谱的类金刚石碳膜,其C1s电子结合能却分别位于284.15,285.50eV,表明高度石墨化和高度金刚石化两种状态类金刚石碳膜,都可以形成具有高强度D峰Raman光谱曲线
关键词:
类金刚石碳膜
Raman光谱
X射线光电子能谱 相似文献
1