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研究讨论了硅一体化微机械结构型薄膜微电极电化学传感器件的稳定性及其相关的电化学问题.以电流型CO2薄膜微电极传感器件为例,通过改进器件构型设计,发展稳定的Ag+/Ag参比电极取代常规的Ag/AgCl电极,及在硅微机械加工工艺上作相应的变动,使器件中的电化学串音减至最小并得到有效的控制,器件长期稳定性和使用寿命有了大的改善 相似文献
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