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自行设计研制了一台微波电子回旋共振等离子体刻蚀系统。该系统采用微波直接通过石英窗口产生右旋圆极化波,由Nd—Fe—B永磁磁钢形成高强磁场,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生均匀的高密度等离子体。利用该系统,结合光刻技术和反应离子束刻蚀技术,在以碳氢(CH)等元素为主要组成的有机聚合物(PMMA)表面制备出线宽3-4μm的光栅形图形。原子力显微镜(AFM)测试结果表明,所得图形线条清晰,侧边比较陡直。 相似文献
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本文研究了成分为(重量百分比)65Fe-22Cr-12Co-1Si的可加工永磁合金。对高温淬火样品和经过磁场热处理及时效的样品,研究了饱和磁矩与温度的关系,以及室温和约80K的穆斯堡尔谱,计算了谱参数。实验表明:两种样品的磁性都随测量中热循环而改变。时效样品在室温除出现铁磁性相外,还出现顺磁性相;顺磁性相在低温下转变为铁磁性相。在时效样品中发现了磁矩的不完全的取向效应。最后讨论了这一材料的反磁化机制和提高矫顽力的途径。
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基于RANS方程、VOF方法以及修正的Goring造波方法建立了模拟活塞式推波板运动的二维数值波浪水槽,实现了双孤立波直墙爬高的数值模拟.利用动边界技术模拟造波机推波板的运动,有效地实现了不同波峰间距双孤立波的造波方法.在验证单孤立波直墙爬高的基础上,模拟了不同相对波高、相对波峰间距的等波高双孤立波的直墙爬高过程,给出了波面、速度场及波动能量的变化规律.数值模拟结果表明:对于等波高的双孤立波,当入射波波高较大及两个波峰间距相对较小时,跟随在后孤立波的爬高放大系数小于先导孤立波的爬高放大系数;双孤立波在直墙爬高过程中,波动场的势能时间过程线呈现三峰形态,其中居中的最大势能峰值出现在第二个孤立波与经直墙反射后反向传播的第一个孤立波完全对撞的时刻. 相似文献
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阿尔泰山两河源头保护区的昆虫区系 总被引:2,自引:0,他引:2
对阿尔泰山两河(额尔齐斯河和乌伦古河)源头保护区昆虫区系的考察结果进行了报道.考察结果表明:1.该地区昆虫经鉴定出的种类有19目150科643属1166种。据推测,整个昆虫区系不下4000种。是新疆昆虫物种多样性最为丰富的地区;2.据对直翅目和鞘翅目424种昆虫的区系成分分析.含有欧洲-西伯利亚种126种.占29.7%。泛古北种和中亚细亚种各103种.各占24.3%。此外还有中央亚细亚种、特有种、地中海种、欧洲中亚种、亚洲种、西伯利亚种、全北种和广布种,此地是以欧洲一西伯利亚种占优势.并富含多种区系成分的地区;3.昆虫区系同植被一样。具明显垂直地带性分布特征,山地荒漠亚带多为旱生型昆虫.山地森林草甸带大多为中生型昆虫,种类最为丰富,达816种;4.该地昆虫主要为草原和森林害虫.草原害虫以蝗虫为最重要.落叶松毛虫、舞毒蛾等蛾类、吉丁虫、天牛、小蠢虫、叶甲等是山地森林的主要害虫;5.资源昆虫分为天敌昆虫、珍稀和观赏昆虫、药用昆虫三类,蚁类同虫草一样.资源丰富,具有产业开发意义. 相似文献
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中亚林蚁Formica(Coptoformica)mesasiatica Dlussky … 总被引:1,自引:0,他引:1
报道了重要药用昆虫中亚林蚁Formica(Coptoformica)mesasiatica Diussky微量元素的测定结果,发现为人体必需的锌、锰、铁、铜、钴、镍、镉等都有较高的含量,加之该种蚂蚁种群数量较大,表明具有开发利用前景。 相似文献