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1
1.
对半导体杂质沉淀无损检测的若干结果
曾庆城
王水凤
罗庆芳
胡解生
任建雄
廖隆宣
《南昌大学学报(理科版)》
1989,13(2):1
用XCD-H红外电视测微显微镜,通过无损检测来评价半导体材料与器件工艺的质量。本文仅对材料的完整性与芯片制造工艺导致杂质沉淀的问题进行讨论。
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