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静电力平衡式微型硅加速度计方案分析 总被引：5，自引：0，他引：5
静电力平衡式微型硅加速度计是一种新型加速度计。本文对这种加速度计的３种典型方案进行了分析，导出静电力（力矩）、静电力平衡回路刚度（角刚度）及加速度测量范围的表达式。有关结果可为这种加速度计参数设计提供理论依据。 相似文献
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微机械框架陀螺仪的动力学分析 总被引：1，自引：1，他引：1
本文根据欧拉动力学方程导出微机械框架陀螺仪的动力学方程，给出陀螺仪的运动规律，并探讨惯性质量对测量灵敏度的影响。 相似文献
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硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析 总被引：8，自引：0，他引：8
介绍了国外硅微机械陀螺仪的新进展，综述了梳状驱动振动陀螺仪、压电棒式振动陀螺仪、电磁驱动音叉陀螺仪、振环陀螺仪、静电悬浮转于陀螺仗和微机械加速度计陀螺仪的结构、原理及性能。关键词 相似文献
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