硅微结构惯性传感器的研制现状及应用前景

本文从介绍硅微结构惯性传感器的研制背景入手，分析了微米／纳米技术近年来的进展对发展硅微传感器的推动作用，重点介绍了美国主要公司有关硅微结构惯性仪表的研制现状，最后结合市场预测，提出笔者对我国发展硅微惯性传感器的几点浅见。