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挠性接头细颈尺寸在线测量技术的研究 总被引:1,自引:1,他引:1
基于差压式气动测量原理,将气动测量技术、新型传感器技术和电子技术等有机结合在一起,解决了惯性器件中典型关键元件─挠性接头的细颈尺寸的在线停车测量问题。测量分辨率为0.1μm,测量精度优于0.5μm。 相似文献
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