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为了进一步提高微机电(MEMS)陀螺在体积、重量和功耗上的优势,开展了MEMS双质量块陀螺密封腔内互联引线设计,该设计增大了陀螺的有效设计面积,减少了芯片体积,实现复杂信号引线布线.设计了齿状互联引线接口结构,分别选用Al和AlCu作为互联引线材料进行对比试验,同时对比分析了电极厚度对键合面和导通性的影响.最终确定合适... 相似文献
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