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基于静电悬浮转子的硅微陀螺技术 总被引:3,自引:3,他引:3
设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。微陀螺基于玻璃-硅-玻璃键合的三明治结构、环形转子、体硅工艺、电容式位移检测方案;采用公共电极施加高频激励信号,基于隔离网络和频分复用的方法实现检测电极与加力电极的复用以简化陀螺结构;通过有源静电悬浮系统约束环形转子沿五自由度的运动,并提供足够的支承刚度;转子的转速控制基于三相可变电容式电机驱动方式,借助于检测转子与定子旋转电极的电容变化获得转子速度以实现转速闭环控制。目前已加工出基于深反应离子刻蚀工艺的微结构,采用基于DSP的数字控制器实现了环形转子的五自由度稳定悬浮。 相似文献
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静电加速度计通过降低带宽和量程在空间微重力环境下可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、平行六面体状检验质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,推导并讨论了静电支承回路的典型刚度特性与控制参数之间的关系式。采用基于DSP的数字控制器,实现了敏感质量的六自由度稳定支承,在大气环境下测试了静电支承回路的主要性能。分析与测试结果表明,在支承系统频带内,支承刚度特性与控制器参数及气膜阻尼系数密切相关;同时,改变预载电压可以在较大范围内在线调整加速度计的量程和支承刚度等指标。 相似文献
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静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率.设计了一种采用玻璃硅-玻璃“三明治”结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,对加速度计的力/力矩平衡回路进行了分析.采用基于DSP的数字控制器,实现了环形敏感质量的五自由度稳定悬浮,在大... 相似文献
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以正丁基锂(n-BuLi)为引发剂,环已烷为溶剂,通过添加十二烷基苯磺酸钡/四氢呋喃(SDBB/THF),对苯乙烯负离子聚合进行了研究.该体系可在60℃聚合得到立构规整性聚苯乙烯,其丁酮不溶物含量可达80%左右.13C-NMR表征结果显示其微观序列组成以等规结构为主,三元组mm和等规五元组mmmm含量可达57%和45%;DSC谱图中不仅有聚苯乙烯玻璃化温度(100℃),而且在211℃有一熔融峰.GPC结果表明,实测分子量与设计分子量差别较大,且分子量分布较宽。 相似文献
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直流静电悬浮系统的实验研究 总被引:2,自引:1,他引:1
正负对称输出的直流高压放大器和直流高压电源是直流静电悬浮系统的两项关键技术问题,本介绍了我们的这两项研究成果,以及在此基础上构建的直流静电悬浮实验系统和相关实验结果。 相似文献
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等效原理是爱因斯坦广义相对论的基本假设之一,在更高精度上检验等效原理是否成立可以预言新型基本相互作用力。新型等效原理是我国科技工作者提出的一种假设,通过检验两个相同材料但自旋状态不同的宏观物体的自由落体运动来检验等效原理可能存在的破坏。提出了一种面向空间检验新型等效原理的差分静电加速度计设计方案,给出了地面实验用原理样机的结构设计,对结构模态和温度应力进行了有限元仿真;依据支承刚度和量程约束条件,对径向和轴向静电支承控制回路进行了设计和仿真分析;建模分析了高真空下转子静电加转驱动回路的主要性能,仿真结果表明启动过程中达到目标转速(10~4 rpm)的启动时间为36.9 min。 相似文献
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静电悬浮球形转子的电场恒速方法 总被引:3,自引:2,他引:3
针对静电悬浮球形转子在真空腔中存在转速衰减的问题,研究并改进了一种电场恒速方法,分析了偏心转子的侧向摆动现象及由此产生的不平衡信号的特性,给出了电场恒速力矩的计算公式和限制条件。在此基础上,提出了改进后的球形转子电场恒速控制系统的结构和动态模型。理论分析和计算结果表明:改进后的电场方法能够在不影响系统整体性能的前提下实现各项恒速控制的性能指标。 相似文献
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高压变压器是静电悬浮系统的关键元件之一.微晶合金C型铁心的采用使方波变压器的制作工艺变得简便,但铁心截面的切割质量和装配工艺对变压器的性能有着很大影响.该文从理论和实验两方面对这种影响进行了研究,提出了采用细砂纸手工研磨铁心截面的办法改善变压器的性能.测试表明,铁心研磨后变压器的静态功耗降低57.6%,通频带拓宽29%,出力系数提高8%.结果表明,铁心研磨的措施能够显著减小铁心切割对变压器性能的影响,这对于变压器的设计和性能优化具有重要参考价值. 相似文献
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静电悬浮式惯性仪表中的微位移检测技术 总被引:1,自引:2,他引:1
静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来,对基于MEMS工艺的悬浮式微惯性传感器的研究引起了广泛的重视。介绍了静电悬浮式惯性仪表中采用的差动电容式微位移检测电路的原理,分别对静电陀螺、静电加速度计和MEMS微陀螺、微加速度计的电极配置方案和位移检测的接口电路进行了分析,并对不同的位移检测方案进行了比较. 相似文献