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专业分类
晶体学
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2021年
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1.
(Ti/ZnO)N成分调制纳米多层膜的结构与透光导电性研究
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牛犇
吴隽
王凯丰
黄成斌
付豪
祝柏林
李涛涛
姚亚刚
《人工晶体学报》
2021,50(8):1478-1484
采用射频(RF)和单极中频直流脉冲磁控溅射方法,在玻璃基板上制备了(Ti/ZnO)N成分调制纳米多层膜,并研究了调制周期数对其结构及透光导电性能的影响.通过X射线衍射、拉曼光谱、原子力显微镜、紫外可见吸收光谱以及霍尔效应测试结果表明:(Ti/ZnO)N成分调制纳米多层膜以(002)取向的纤锌矿型ZnO结构为主,具有明确...
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