半水基凝胶注模工艺制备变密度氮化硅陶瓷研究

本文以淀粉为模板剂,研究了半水基注模凝胶技术制备变密度氮化硅陶瓷材料的方法。结果表明:氮化硅陶瓷材料的密度随淀粉含量的增加,而逐渐降低;氮化硅陶瓷材料的介电常数随密度的降低而逐渐降低。利用此方法成功制备出密度1.38 g/cm3,介电常数2.6的低密度氮化硅陶瓷材料。     

稀释气体对CVD-SiC纤维性能的影响

在自行设计制造的直流电阻加热CVD装置上制备SiC纤维,研究了CH3SiHCl2-CH3SiCl3-H2-Ar体系中在W芯表面化学气相沉积SiC涂层工艺,考察了稀释气体Ar气含量对化学气相沉积SiC涂层的显微结构的影响。并对涂层表面形貌及成分进行了SEM,XRD分析。结果表明:Ar气不但起到了输送气体源,排出废气、增大流量、使反应室中前后端的反应气体比例尽量保持一致的作用,还一个重要原因是可以很好的平衡空间的温度差。当稀释气体的含量达到25%时,纤维的性能最好。