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晶体学
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1
1.
退火效应对MOCVD生长的ZnO薄膜的影响
朱宝富
黄柏标
秦晓燕
李先林
姚书山
尉吉勇
张琦
《人工晶体学报》
2004,33(5):755-757
我们利用MOCVD设备在α-Al2O3衬底上生长了c轴取向的ZnO薄膜,通过X射线衍射(XRD)、光致发光谱(PL)对ZnO薄膜进行表征,研究了退火对ZnO薄膜光电特性影响.通过退火优化, ZnO薄膜的结晶性得到提高,晶粒尺寸变大,紫外光发射峰的强度相对变强.
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