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专业分类
晶体学
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2013年
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1.
ITO薄膜可见光区增透性能研究
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李仁莹
王明
董国波
高方圆
唐芳
王玫
刁训刚
《人工晶体学报》
2013,42(11):2252-2257
采用MPS单极性脉冲磁控溅射法,在PMMA衬底上制备SiO2增透薄膜,通过改变溅射时间达到最优的增透效果.在此基础上,制备了不同溅射时间的ITO薄膜,系统研究了增透前后的可见光透过率、方块电阻和红外发射率的变化.实验结果表明,增透后薄膜可见光平均透光率提高大约6;,对于溅射时间小于60 min的ITO薄膜增透之后的平均透光率达到80;以上,同时薄膜的方块电阻以及红外发射率变化较小.
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