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专业分类
晶体学
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2021年
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1
1.
InGaN/GaN微米阵列结构的生长及发光性能研究
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张利繁
贾伟
董海亮
李天保
贾志刚
许并社
《人工晶体学报》
2021,50(4):776-782
采用金属有机化学气相外延技术,在图形化蓝宝石衬底上通过选区外延可控生长了三种不同形貌的InGaN/GaN微米阵列结构,阵列尺寸均为6μm.其中,六方片状阵列结构以(0001)c面为主,高度为0.6μm;六棱台状阵列结构包括一个(0001)c面和六个等效的(10-11)半极性面,高度为1.2μm;六棱锥状阵列结构以(10...
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