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采用脉冲激光沉积法(PLD)在不同温度单晶硅基底上制备了WSx固体润滑薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)对薄膜的成分、形貌和微观结构进行了分析,采用球-盘式磨损试验机测试了薄膜在大气环境下(相对湿度50%~60%)的摩擦学特性.结果表明:室温下所获得的薄膜为微晶结构;在RT~300℃范围内,随着温度的升高,薄膜表面趋于光滑、致密,且形成晶态WSx的趋势逐渐增大,薄膜与基底间的结合力增大,但薄膜中S和W的含量之比(S/W比)从1.84逐步下降到1.49.薄膜的摩擦系数在RT~200℃范围内与其S/W比呈反比关系,在300℃条件下,薄膜中形成了大量的WS2晶体,摩擦系数最低且耐磨性能也最好. 相似文献
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激光和电子束表面强化技术的发展及其应用 总被引:7,自引:0,他引:7
激光和电子表面强化是当前引入注目的两种高新技术,文章系统地介绍了这两种技术的发展状况及应用,同时比较了二者的优缺点,最后,对目前存在的问题及未来的发方向作了简要的讨论。 相似文献
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