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用PHI 600型扫描俄歇探针、200型台阶仪和Q-920型图象分析仪,测定了35Cr Ni3MoV钢、Al-5.5 Zn-1.4Mg合金和Ti-5Al-2.5Sn合金的溅射速率,提出了对蚀坑分部位确定溅射速率的方法。文中给出了详细的测定结果。 相似文献
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用PHI600型扫描俄歇探针对二氧化硅标样测定了氩离子对二氧化硅的溅射速率。溅射速率随离子枪束压的升高而增大,随扫描范围的加大而减小,入射角为60~65°时溅射速率最大。文中给出了上述关系的实验曲线 相似文献
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半绝缘砷化镓单晶中AB微缺陷的定量测量方法 总被引:2,自引:0,他引:2
报道了非掺杂半绝缘砷化镓单晶中AB微缺陷显微特征的研究结果,提出了一种自动定量测量微缺陷的方法,并在WD-5图象处理分析系统中实现了该算法。 相似文献
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