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马智锟 《分析测试技术与仪器》2021,27(2):100-104
改进了分子束外延设备样品加热平台的加热和测温方式,在原有热辐射加热和红外测温的基础上,增加直流电流加热并采用比例积分微分(PID)精密控温装置对样品加热台进行测温和控温.改进后,原有设备所能制备的研究样品范围更广,并且还增加了围绕设备所展开的科研方向,扩充了设备的使用范围. 相似文献
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