质子激发X射线荧光法测定高纯空气中痕量金属杂质Cr、Cu、Fe、Zn

本实验用质子激发X射线荧光法(简称PIXE法)测定了高纯空气中的痕量元素。空气样品用过滤法采集,将过滤装置与空气气路联结,微粒法采集在核孔滤膜上,后端接空气流量计,控制流量在0.5 L/min,采集2～4 h。然后用PIXE测定。此法适于分析微区样品中的痕量金属杂质。Cr、Fe、Cu、Zn的检测下限小于0.1ng/cm~2,标样由美国微物质公司(Micromatter Co.U.S.A.)提供。