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p型硅片上激光诱导局部化学沉镍 总被引:1,自引:0,他引:1
在以肼为还原剂的碱性化学镀镍溶液中实现p型单晶硅片上激光诱导微区化学沉镍,讨论了激光能量、照射时间对镍沉积层的影响,使用SEM、AES和RBS等方面对镀层的形貌、性质进行了分析。激光诱导化学沉积得到了均匀致密、结合力好的纯镍镀层。镀层与基体间具有Schottky接触特性。 相似文献
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