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微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究 总被引：2，自引：1，他引：1
本文系统研究了石英钟罩式微波等离子体辅助化学气相沉积装置对沉积金刚石薄膜的影响。与石英管式微波等离子体沉积装置相比，该装置能使用较高的沉积气压、较大的气体流量和较微波功率。本文着重研究了沉积气压、气体流量和甲烷浓度对金刚石薄膜形貌和生长速度的影响。发生生长速度随着沉积气压和甲烷浓度的增大而增大，晶体形态随着甲烷浓度的增大而差。并使用该装置成功地在４００℃低温沉积了Φ６０ｍｍ的金刚石薄膜。 相似文献
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环形波导狭缝天线产生的氩等离子体特性研究 总被引：3，自引：0，他引：3
研制了一种环形波导腔环绕直径３０ｃｍ,高５０ｃｍ耐热玻璃圆筒真空室构成的新的大面积微波等离子体源。环形波导内侧开有多个用来激励产生等离子体的狭缝,相邻狭缝间的距离为半个波导波长。利用该装置研究了微波功率,工作气体对氩等离子体特性的影响。 相似文献
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1引言在微波等离子体系统中，等离子体作为微波传输线的负载．它的物理和化学性质的变化在微波传输线中通过负载阻抗的变化体现出来[1]．我们自行研制的微波三探针等离子体阻抗测量系统具有结构简单、成本低、灵敏度高、对微波硬件要求低等优点，为我们了解等离子体内部性质的变化提供了又一诊断途径．2微波三探针等离子体阻抗测量系统的工作原理图1为我们自行设计的微波三探针等离子体阻抗测量系统的结构示意图．在长度为133mm的．BJ—22型矩形波导的宽边中心线上，三只微波电探针以间隔λg／6（λg为波导波长，在我们使用的2450MHZ微波… 相似文献
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