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1.
金刚石晶形显露的化学控制
陈友存
谢仿晴
张青哲
林章达
《物理化学学报》
1998,14(9):799-803
采用热丝化学气相沉积法(HPCV),研究了N2、O2对金刚石晶形显露的影响。发现微量的氮气的加入([N2]/[CH4]<1%)有利于金刚石(100)晶面的显露,且不会降低金刚石晶形的完整性;微量氧的加入有利于金刚石(111)面显露.采用氧辅助控制金刚石膜(111)织构生长,可以使X射线(111)峰摇摆曲线的半宽降到6.2°.氮或氧的加入扩大了织构生长金刚石(100)或(111)膜的基片温度范围.
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