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专业分类
化学
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1998年
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1.
高玻璃化温度化学增幅光致抗蚀剂的制备
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王慧
游凤祥
陈明
李元昌
卢建平
洪啸吟
黄志齐
胡德甫
《影像科学与光化学》
1998,16(3):245-249
本文合成了一种具有高玻璃化温度的苯乙烯和N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺的共聚体,并将其应用于紫外负性水型化学增幅抗蚀剂中,并初步确定了该光致抗蚀剂的光刻工艺操作条件,得到了分辨率为1.39µm的光刻图形。
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