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采用微机械剥离法制备了基于不同厚度的高质量WSe2纳米片的场效应晶体管(WSe2-FETs), 研究了其性能的影响因素. 通过调控WSe2纳米片及介电层的厚度、 测试温度及退火处理等, 结合理论模拟分析, 获得了WSe2-FETs的最佳电学性能. 最终, 基于7层WSe2纳米片的场效应晶体管表现出最优异的电学性能, 室温下载流子迁移率可达93.17 cm2·V?1·s?1; 在78 K低温下, 载流子迁移率高达482.78 cm2·V?1·s?1.  相似文献   
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