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本文引入单体MAGME合成了具有自交联作用的MAGME、苯乙烯和N(4 羟基苯基)马来酰亚胺的共聚物,并以该聚合物为基体树脂,研制了一种新型的水显影化学增幅型负性抗蚀剂,并初步研究了其光刻工艺条件. 相似文献
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混合物的分离是分析测试中的常用技术 ,柱层析是常用的分离方法之一。而传统的色谱柱由于对样品的受纳容量较小和分离速度较慢 ,无法满足某些研究的需要。本法采用并改进了一种分离快速、使用方便、易于制作的VLC柱 ,为含磷化合物的复杂反应产物的研究提供了有效工具。VLC柱全称为VacuumLiquidChromato graphy ,即真空液相色谱。这是一种制备色谱 ,其流体由于柱下端产生负压而流出。该柱的使用最早于1977年由Coll报道[1,2 ] 。Coll及其合作者采用这种柱子顺利地进行了一些天然产物的分离 ,但关于柱… 相似文献
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