锆基金属有机骨架材料用于四甲基硅烷/异戊烷分离

在半导体工业中,从四甲基硅烷(TMS)/异戊烷混合物中高效捕获异戊烷从而获得超高纯度的TMS是非常重要的。在本工作中,我们选择了具有笼结构的MOF-801,通过其对TMS和异戊烷吸附能力的差异,实现了TMS与异戊烷的分离。气体吸附测试结果表明,在298 K和60 kPa时,MOF-801对异戊烷吸附量为2.56 mmol·g^-1,而其对TMS的吸附量为1.20 mmol·g^-1。理想吸附溶液理论(IAST)计算结果表明,MOF-801对TMS/异戊烷(95∶5,体积比)混合物的分离选择性达到105.8。而之后的液相吸附分离实验进一步验证了MOF-801的分离效果,最终可以得到体积分数大于99.98%的TMS。     

锆基金属有机骨架材料用于四甲基硅烷/异戊烷分离

在半导体工业中，从四甲基硅烷（TMS）/异戊烷混合物中高效捕获异戊烷从而获得超高纯度的TMS是非常重要的。在本工作中，我们选择了具有笼结构的MOF-801，通过其对TMS和异戊烷吸附能力的差异，实现了TMS与异戊烷的分离。气体吸附测试结果表明，在298 K和60 kPa时，MOF-801对异戊烷吸附量为2.56 mmol·g^-1，而其对TMS的吸附量为1.20 mmol·g^-1。理想吸附溶液理论（IAST）计算结果表明，MOF-801对TMS/异戊烷（95∶5，体积比）混合物的分离选择性达到105.8。而之后的液相吸附分离实验进一步验证了MOF-801的分离效果，最终可以得到体积分数大于99.98%的TMS。