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用Nd-YAG脉冲激光对n型硅掺铟,形成外p+n结。利用二次离子质谱仪(SIMS)、卢瑟福背散射(RBS)等方法,研究了硅内铟的分布,并分析了用20ns脉冲激光硅掺铟的物理过程,发现当激光能量密度足够大时,在硅表面层存在硅-铟混合熔体和液态硅两部分。当激光能量密度较小时,硅表面层仅有液态硅层、用I-V,C-V和深能级瞬态谱(DLTS)等方法研究了p+n结的电学性质,发现在p+n结的n区存在两个缺陷。一个能通过快速热退火,在600℃,60s条件下消失,研究表明可能为空位与杂质的复合体。另一个通过快速热退火不能消失,可能与位错有关。
关键词: 相似文献
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用已知的H_1~1核的g_N因子求F_9~(19)核的g_N因子,这经常是核磁共振教学实验的内容之一。具体办法是:先把具有H_1~1核的样品(例纯水)置于电磁铁所形成的主磁场中,固定射频场频率为f_1,调节主磁场强度,使在示波器上显示出等间距的共振吸收峰。然后,用具有F_9~(19)核的样品(例如聚四氟乙烯)替换下纯水样品,主磁场固定不变,调节射频场频率,使在示波器上再现等间距的共振吸收峰,这时,对应的射频场频率为f_2。F_9~(19)核的g_N因子可以由下式求得: 相似文献
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