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2.
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
3.
采用交换吸附脱色及柱层析新技术,成功地从烟叶中分离和纯化了一种烟草过氧化物酶同工酶(TOPⅠ),并对其进行了一系列光谱特性研究.基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱(MALDI-TOF-MS)测得TOPⅠ分子量为21 888.5,等电点pI为3.5;氨基酸组成分析表明TOPⅠ为一含血红素的酸性蛋白酶.光谱学分析揭示,在402 nm处有一典型的Soret带,在498和636 nm处有特征吸收峰(α,β带),酸度和变性剂对TOPI在紫外可见区的特征吸收峰均产生一定的影响,TOP Ⅰ的荧光光谱测定结果说明TOPⅠ分子中含有Trp残基和Tyr残基以及其自身的独特的光谱学特性. 相似文献
4.
In this paper, we are concerned with the initial and boundary value problem for the following equations not in divergence form: 相似文献
5.
本文用变换群理论对运动水平平板混合对流边界层流动的动量、能量和浓度扩散方程进行了分析,得到了与X4/(7-5n)成正比的壁面温度分布和浓度分布,同时壁面运动速度正比于X(3-n)/(7-5n)时存在相似性解.导出了相似性解方程,用四阶Runge-Kutta方法进行了计算,给出了Pr=0.72 和Sc,K1,K2,K3参数下的速度、温度和浓度分布,得出了各参数对流场、温度场的影响。 相似文献
6.
基于一个描述夸克胶子火柱演化的相对论流体力学模型,研究了夸克相、强子相互作用以及非热过程(DrellYan对、粲强子衰变)的中等质量双轻子的产生.发现由于相边对夸克胶子物质演化的影响和RHIC能量核碰撞产生的夸克胶子物质具有高的初始温度,夸克相对双轻子的贡献显著增强,比那些来自强子相互作用的贡献重要,甚至能与来自非热的贡献比较.表明中等质量双轻子的增强是一个在核碰撞中产生了夸克胶子物质的可能信号.
关键词:
夸克-胶子物质
双轻子增强
相对论流体力学模型 相似文献
7.
众所周知,函数exp(-x~2/2)的原函数不能用初等函数来表示,此时,我们说“积不出”。本文在此意义下仅就被积函数中含exp(-x~2/2)的积分进行了讨论。首先考虑积分,然后是积分为多项式),得到了在应用上较为方便的结果。 相似文献
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