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1.
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
2.
《中学生数学》2001年第11(月上)期“等比数列的性质及其应用”一文,列举了等比数列的10个性质,其中的性质5是这样的:若{an}是等比数列,公比为q,则sum fromi=1 to k ai,sum fromi=k 1 to 2k ai,sum from i=2k 1 to 3k ai,…仍成等比数列,其公比为qk. 其实,这个“性质”是有问题的,因为sum fromi=1 to k ai,sum fromi=k 1 to 2k ai,sum from i=2k 1 to 3k ai,…是否成等比数列,与q和k的取值情况有关. 显然,当q=-1,且k为正偶数时,sum fromi=1 to k ai 相似文献
3.
4.
5.
Generation of UV laser light by stimulated Raman scattering in D2, D2/Ar and D2/He using a pulsed Nd:YAG laser at 355nm
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A pulsed Nd:YAG laser at 355nm is used to pump Raman cell filled with D_2, D_2/Ar and D_2/He. With adequately adjusted parameters, the maximum photon conversion efficiency of the first-order Stokes light (S_1, 396.796nm) reaches 33.33% in D_2/Ar and the stability of S_1 in pure D_2 is fairly high, the energy drift being less than 10% when the pump energy drifts in the range of 5%. The conversion efficiency and stability, which are functions of the composition and pressure of the Raman medium and the energy of pump laser, are investigated. The result has been used to optimize the laser transmitter system for a differential absorption lidar system to measure NO_2 concentration profiles. 相似文献
6.
7.
In this paper, we are concerned with the initial and boundary value problem for the following equations not in divergence form: 相似文献
8.
9.
We propose a scheme for light amplification in an asymmetric double quantum well, where two excited states are coupled by resonant tunnelling through a thin barrier in a three-level system of electronic subbands. By applying a single driving laser, the steady state gain can be obtained. The calculated gain spectrum for an asymmetric GaAs/AlGaAs double quantum well structure was presented. 相似文献
10.