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微电子技术在石英微机械振动陀螺中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
叙述了采用微电子技术加工石英微机械振动陀螺振子的原理和基本过程,介绍了陀螺振子加工的研究结果和石英微机械陀螺的最新研究进展。 相似文献
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