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采用磁控溅射方法在自然氧化的单晶Si(100)衬底上制备了纳米结构的Fe53Pt47薄膜,并研究热处理后薄膜中的磁相互作用、晶粒尺寸与热处理温度的关系.经400℃热处理后,FePt薄膜中有明显的面心四方相形成,薄膜表现出硬磁性,晶粒尺度在20 nm,薄膜内部存在软硬磁交换耦合作用;随着热处理温度升高,硬磁相含量增加.同时由于FePt薄膜的晶粒长大,部分软硬磁晶粒之间的交换耦合作用失效;600℃热处理后,FePt的面心立方相已经完全转变为面心四方相,薄膜矫顽力由硬磁相之间的静磁作用贡献.
关键词:
磁性薄膜
纳米晶
磁性能
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