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钨灯丝扫描电子显微镜具有造价和运行成本低、样品适用性广的特点,在各研究机构的利用率很高,日常维护保养是保障其性能的必要手段.除了常规的扫描电子显微镜维护以外,因钨灯丝扫描电子显微镜结构特点,又有一些异于其它类型扫描电子显微镜的维护要点.以蔡司的EVO MA 15型钨灯丝扫描电子显微镜为例,从电子光学系统、真空系统、成像系统三个方面,阐述了钨灯丝扫描电子显微镜日常维护保养的具体办法,以供同行参考. 相似文献
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