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以FeCl3和四甲基庚二酮(HDPM)为原料,在醇/水混合溶剂中合成β-二酮金属有机化合物Fe(DPM)3。利用红外吸收光谱、元素分析、原子吸收光谱、差热-热重和质谱分析等技术,分析了Fe(DPM)3的结构、纯度、热稳定性、挥发性以及热分解机理。结果显示,合成的Fe(DPM)3在空气气氛和氮气气氛下均具有良好的挥发性,气化失重率达到98%以上,空气气氛中氧的存在对Fe(DPM)3的气化和分解具有一定的促进作用;质谱分析结果表明:在Fe(DPM)3的分解过程中,首先有一个DPM配体解离,然后在剩余两个DPM配体中先解离出-C(CH3)3基团,随后分裂出剩下的-OCCH2COC(CH3)3基团,最后得到+Fe(DPM)碎片。本文同时以新合成的Fe(DPM)3作为前驱物,采用气溶胶辅助的金属有机化学气相沉积(Aerosol Assisted MOCVD,AA-MOCVD)技术在α-Al2O3衬底上成功沉积制备了α-Fe2O3薄膜。 相似文献
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采用等离子体增强的MOCVD技术,以均匀混合的金属β-二酮鳌合物固态源Y(DPM)3和Zr(DPM)4作为前驱物,在NiO/SDC多孔阳极和多孔-αAl2O3衬底上制备了氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)薄膜.研究了两种衬底对成膜过程和膜的结构以及微结构的影响,讨论了源区输运机制及薄膜生长动力学.XPS分析结果表明,薄膜中Y和Zr元素的摩尔比低于原始混合源中的Y和Zr元素的摩尔比,当混合源中的Y和Zr元素的摩尔比约为0.35:1时,可以获得无定形态的8%YSZ薄膜,经高温焙烧转化为单一立方相,其晶粒大小约为100nm,薄膜的生长速率约为7nm/min. 相似文献
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