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为了探索低温可调控ZnO薄膜沉积技术,提出了一种新的ZnO薄膜制备方法,即离化团簇束(ICB)法,并自行设计研制了应用该方法制备ZnO薄膜的专门装置.采用超音速喷嘴获得高速锌原子团簇束,用Hall等离子体源产生氧离子束离化锌原子团簇,获得了较高的离化率.在沉积过程中,可以通过调节衬底偏压、氩氧比、衬底加热温度等参数,来控制成膜的质量;应用这个装置成功地在硅衬底上制备的ZnO薄膜,经XRD和EDS检测,薄膜的c轴取向一致,Zn、O原子百分比接近于1:1,成膜质量好. 相似文献
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根据量子能带理论 ,采用经验赝势方法 ,对 (Pb) n/ (Bi) n,(Al) n/ (As) n 的假想简立方二元超晶格结构的弹性应力进行了计算 .结果表明弹性应力随超晶格周期λ的增加而迅速升高至一定大小后趋于稳定 ,且只有在周期较小时才同过渡金属氮化物超晶格硬度随周期的变化的趋势定性一致 ,为超晶格硬度随周期的变化提供了一种可能的解释 相似文献
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中频脉冲磁控溅射制备氮化铝薄膜 总被引:10,自引:0,他引:10
使用中频脉冲磁控溅射技术分别在Si(111)、玻璃以及高速钢基底上沉积A1N薄膜,利用X射线衍射、X射线光电子谱、扫描电镜、紫外荧光、FTIR、精密阻抗分析仪等研究了薄膜的结构、光学及电学性质,结果表明,生成的(002)取向多晶A1N薄膜在可见光区域平均透过率超过75%,在紫外区域也具有较高的透过经,在低频交流区域具有良好的绝缘性。 相似文献
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铸铁低温钎焊焊料中,除锡、铝、镉含量较低外,铜、锰、镍含量都很高,需要与锌分离。我们试验了氢氧化钠分离法。研究了锌与铜、锰、镍、镉的分离条件及其测定可行性。并拟定了铸铁低温钎焊焊料中锌的测定方法。方法准确、快速,满足了冶金试验和生产工艺样品分析的要求。 相似文献
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根据量子能带理论,采用经验赝势方法,对(Pb)n/(Bi)n,(A1)n/(As)n的假想简立方二元超品格结构的弹性应力进行了计算.结果表明弹性应力随超晶格周期λ的增加而迅速升高至一定大小后趋于稳定,且只有在周期较小时才同过渡金属氮化物超晶格硬度随周期的变化的趋势定性一致,为超晶格硬度随周期的变化提供了一种可能的解释. 相似文献
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用非平衡磁控溅射法制备CNx薄膜 总被引:2,自引:0,他引:2
利用非平衡磁控溅射法,用一对石墨溅射靶,以N 相似文献
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克里雅河流域生态环境信息系统的设计与研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在完成克里雅河流域图像库和矢量数据库的基础上,初步探讨了该流域生态环境信息系统框架的设计和建立,分析了系统运转所需要的数据流和数据组织模式,并对系统功能实现所要求的硬、软件环境和系统的未来网络化运行做了有益的探索。 相似文献
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在回顾地理信息系统(GIS)软件构架的基础上,提出了网络时代的GIS软件构架方式,即基于浏览器/服务器方式的InternetGIS体系,对这种构架的特点进行了分析。同时,对InternetGIS的基本实现技术做了描述。 相似文献
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