XPS和TOF—SIMS在硬盘驱动器（HDD）磁头表面微污染分析中的应用

XPS和TOF－SIMS表面分析仪器联用分析磁头臂焊接位表面有机微污染物成分,找出污染物的来源;XPS能够提供污染物中元素组成及价态信息,而TOF－SIMS能够提供其分子信息。试验证明两者联用是分析表面有机微污染物强有力的手段。