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1.
本实验用质子激发X射线荧光法(简称PIXE法)测定了高纯空气中的痕量元素。空气样品用过滤法采集,将过滤装置与空气气路联结,微粒法采集在核孔滤膜上,后端接空气流量计,控制流量在0.5 L/min,采集2~4 h。然后用PIXE测定。此法适于分析微区样品中的痕量金属杂质。Cr、Fe、Cu、Zn的检测下限小于0.1ng/cm~2,标样由美国微物质公司(Micromatter Co.U.S.A.)提供。  相似文献   
2.
提出了用能量为1.5-2.5MeV的质子弹性背散射分析(elastic backscattering,缩写为EBS)来测定薄膜中的氧含量,这个方法对于厚度为几十纳米到几个微米的样品,测量精度约5%。采用RBS分析并结合EBS分析,可全面测得薄膜中各元素的含量。 关键词:  相似文献   
3.
提出了用能量为1.5-2.5MeV的质子弹性背散射分析(elasticbackscattering,缩写为EBS)来测定薄膜中的氧含量,这个方法对于厚度为几十纳米到几个微米的样品,测量精度约5%。采用RBS分析并结合EBS分析,可全面测得薄膜中各元素的含量。  相似文献   
4.
利用直流磁控溅射(D.C.Magnetron Sputtering)法,选取总气压为80Pa,沉积时间为60min,溅射靶尺寸为φ80,在磁场强度、靶与基片之间的距离及Ar/O2比等参数变化的情况下,制备了四组YBCO/Al2O3非晶薄膜样品。用MeV Li卢瑟福背散射(RBS)分析技术,测量了各块样品中Ba和Cu相对Y的含量和薄膜厚度随基片的横向分布。分析结果表明:在不同的沉积条件下,薄膜中各点的Ba和Cu相对浓度差别较大,薄膜厚度分布也 关键词:  相似文献   
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