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1.
2.
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
3.
于晓光 《中国光学与应用光学文摘》2006,(6)
TP73 2006065467空间遥感仪器卡塞格伦镜筒的设计及轻量化研究=Design and lightweight research of Cassegrain drawtubes in space remote instruments[刊,中]/刘春霞(中科院上海技物所.上海(200083)).//红外技术.—2006,28(5).—253-256介绍了空间遥感仪器中卡塞格伦镜筒的结构设计,利用三维CAD技术构建了产品模型。针对主镜筒的轻量化问题,设计了几种结构方案,利用CAE有限元力学分析对设计方案进行了选择和评价,通过对整个装配体的静力学分析和模态分析考察了结构的整体性能。图4表2参5 相似文献
4.
于晓光 《中国光学与应用光学文摘》2006,(1)
O4372006010275不同基体刚性偶氮化合物光致光学各向异性及其唯象模拟=Photoinduced anisotropy of azo polymer with differentmatrices rigidity and their phenomenological si mulation[刊,中]/罗锻斌(华东理工大学物理系.上海(200237)),邓莉∥光学学报.—2005,25(10).—1385-1390在不同刚性的聚合物基体聚甲基丙烯酸甲酯(PM-MA)、聚乙烯咔唑(PVK)和聚苯乙烯(PS)薄膜基体中掺入相同质量分数(均为0.003)的分散红13(DR13)偶氮染料。以线偏振连续Ar 激光(514nm)作为控制光,连续He-Ne激光(632.8nm)作为信号光,考察了具有相同厚度的3… 相似文献
5.
于晓光 《中国光学与应用光学文摘》2004,(6)
O436 2004064048 半无限空间中光子密度波扩散方程的求解=Solution of diffusion equation in semi-infinite space with photon density wave[刊,中]/朱拓(江南大学理学院.江苏,无锡(214036)),孔艳…∥光电子·激光.—2004,15(5).—625-629 改进了原无限大模型,求解了无限大空间中光子密 相似文献
6.
风力发电机组变速恒频控制系统研究 总被引:2,自引:0,他引:2
全面介绍了一种最新应用于风力发电中的新型电机—无刷双馈电机,并分析了这种新型电机作变速恒频运行的原理并对这种电机进行了动态特性仿真研究,给出了形式简洁的控制方程和易于实现的控制方案。 相似文献
7.
In this paper, we are concerned with the initial and boundary value problem for the following equations not in divergence form: 相似文献
8.
该文讨论了形变诺振子相干态的一些有意义的性质,利用量子代数SUq(3)的形变谐振子实现,构造了SU3(q)在玻色、费米两种情况下的相干态. 相似文献
9.
本文提出了一种专门制作的全息元件作照明器的图象处理系统,它可以利用白光照明实时处理大面积图象。这种系统可以进行两张图象差异的彩色显示、黑白图象的假彩色编码和彩色合成,以及对体视对图片的体视观察等。本文最后给出了实验结果。 相似文献
10.
基于一个描述夸克胶子火柱演化的相对论流体力学模型,研究了夸克相、强子相互作用以及非热过程(DrellYan对、粲强子衰变)的中等质量双轻子的产生.发现由于相边对夸克胶子物质演化的影响和RHIC能量核碰撞产生的夸克胶子物质具有高的初始温度,夸克相对双轻子的贡献显著增强,比那些来自强子相互作用的贡献重要,甚至能与来自非热的贡献比较.表明中等质量双轻子的增强是一个在核碰撞中产生了夸克胶子物质的可能信号.
关键词:
夸克-胶子物质
双轻子增强
相对论流体力学模型 相似文献