单晶硅晶圆晶向的精确标定方法

针对工业用单晶硅晶圆上所标记的大晶向的精度不能够满足微电子与机械系统 (MEMS)器件加工要求的缺点 ,提出了一种用于精确标定晶圆晶向的方法 .该方法通过一组精心设计的对比图案和随之进行的预刻蚀加工 ,把单晶硅晶圆的主晶向清晰地显示了出来 .为了准确地识别出晶圆的主晶向所在的方位 ,采用数字图像处理技术 ,对显微照相的图片进行了数学处理 .分析结果表明 ,采用所提出的方法 ,可以将晶圆的晶向定位精度由原来的± 1°～± 2° ,提高到± 0 1°以上 ,而这种对准精度对大多数MEMS器件的加工已足够了 ,后续的加工实验结果也验证了所提出方法的有效性     

卤素离子与苯骈三氮唑协同成膜动力学的体声波传感技术研究

采用体声波传感技术就卤素离子与铜缓蚀剂——苯骈三氮唑( BTA)协同成膜的动力学及相应复合膜的稳定性进行了研究 .结果表明 ,卤素离子 ( F- ,Cl- ,Br- ,I- )中仅 I- 与 BTA具有协同效应 ,能有效地提高BTA的缓蚀效果和膜层稳定性 ,同时 ,对 BTA的成膜动力学有明显影响     

金属Ag的电子结构和性质

应用新发展的金属价键理论对金属Ag的电子结构和性质进行了系统研究。我们采用单原子状态自治法确定金属Ag的电子结构为[Kr](4d_n)~(5.33)(3d_c)~(4.53)(5S_f)~(1.14)。依据这种电子结构计算了晶格常数、结合能、势能曲线、体弹性模量和线热膨胀系数随温度的变化,理论值与实验值均符合较好。本文列举了金属Cu和Au的原子状态参数,键参数和主要物理性质,金属Cu的电子结构为[Ar](3d_n)~(4.89)(3d_c)~(4.77)(4S_f)~(1.34),金属Au的电子结构为[X_c](5d_n)~(4.65) (5d_c)~(4.71)(6S_c)~(0.62)(6S_f)~(1.02);分析了贵金属Cu,Ag和Au的共同特点和彼此间的差异;并以简明的方式说明价键理论和能带理论的要点,对比了两种理论所得金属Cu,Ag和Au的准电子占有数(QEO),它们彼此非常相近,这充分显示了价键理论与能带理论彼此是可以沟通的。     

Functional Analysis of Tube Chain Conveyors

This paper describes some of the aspects necessary for the design and use of tube chain conveyors. It is based on the reports of experienced experts and recent tube chain conveyor experimental results. The aim of the research work is the formulation of general technical regulations for tube chain conveyors. Theoretical models were developed, which allow the calculation of the motion resistances in all parts of the conveyor by the use of empirical extracted correction factors. Specially designed measurement equipment enabled the measurement of the important chain tractive force from the closed tube system. The measurements show the influence of the major operational parameters and the bulk solid properties.     

Bulk and microscopic properties of copolymer networks in mixed aqueous solvents

Amphiphilic films and hydrogels have been prepared from ethanol/water solutions containing a hydrocarbon-grafted water-soluble cellulose ether. These materials are characterized by dispersed hydrophobic microdomains which form spontaneously in the solvent due to the inherent incompatibility of the side chains with water. At low applied shear stress, the microdomains behave as temporary linkages of finite lifetimes, imparting viscoelastic properties to the networks. The molecular weight between microdomains was found to be independent of the volume fraction of polymer in the gel, and the number of linkages per backbone ranges from 22.8 ± 1.3 to 26.2 ± 1.5 over the frequency range 30–50 rad/s. The behavior of the solutions and gels was characterized using fluorescence and dynamic rheological measurements. It was demonstrated that the microdomains are capable of sequestering water-insoluble solutes. © 1992 John Wiley & Sons, Inc.     

竖炉散料层热交换公式的简化计算及应用讨论

在竖炉内散料层的逆流换热系统中存在这样一个炉气与炉料温度实际相等的区域，据炉气与炉料水当量的变化特征，本文在Ｂ．Ｈ基塔耶夫建立的逆流换热模型公式的基础上、整理出更为简单，清晰的竖炉散料层热交换的简化计算式，并进行了应用讨论。     

Elastic constants of lead-bismuth alloys

A study of ultrasonic velocities and internal friction has been carried out in Pb-Bi alloys in the concentration range of 0 to 49.5 atomic % Bi using the composite oscillator technique. From the velocity and density data a set of elastic constants namely, Young’s modulus, rigidity modulus, bulk modulus and Poisson’s ratio are estimated. The results are interpreted in terms of the phase changes occurring in the alloy system. Internal friction is found to be more sensitive than the elastic constants to the phase changes.     

混合精矿体系中方铅矿与黄铁矿浮选分离的矿浆电化学（Ⅰ）─—方铅矿表面丁基黄原酸铅的电化学还原动力学

采用恒电流极化法首次研究了方铅矿表面丁基黄原酸铅的电化学还原动力学行为，测定了丁基黄原酸铅电化学还原的动力学参数（如过电位、传递系数及交换电流密度），建立了还原反应的动力学方程，证实在方铅矿表面丁基黄原酸铅的电化学还原反应是一个不可逆电化学过程，过电位高达３０８ｍＶ。     

本体法聚丙烯CSTR建模研究

以 Hypol工艺聚丙烯反应器为研究对象 ,根据汽液平衡和聚合反应动力学方程 ,建立了丙烯聚合机理模型。利用 BWR状态方程结合亨利定律计算液相中的氢气浓度 ,避免了求解多元平衡问题 ,提高了计算速度。利用现场工况数据 ,模型可以实时预报聚丙烯的熔融指数 ,聚合釜的聚合率、浆液浓度、聚合热等重要参数。计算结果较好地符合现场实测数据 ,熔融指数 (MI)的平均预报误差为 1 .6 % ,其它参数的预报也取得了满意的效果 ,可在线运行 ,指导生产     

Cu块材及Cu膜的光学常数研究

用反射式动态椭圆偏振光谱技术对Cu块材、Cu薄膜及Cu厚膜的光学常数进行了测试分析。研究结果表明:与Roberts块材、Johnson厚膜数据相比,不同方法得到Cu的光学常数在谱线形状上基本相似,但在数值上存在一定差别;在波长为250～830nm范围内,Cu块材和膜的折射率n与消光系数k分别在0.1～1.5和1.5～5.0之间;随膜厚增加,n值增大,k值减小;厚膜的n、k值与块材的更为接近。同时讨论了光学常数与微结构的关系。