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101.
高精度步进压印机热误差的建模分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差,以提高压印机的套刻对准精度,运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量,将压印机上布置的温度传感器从15个减少到6个,并建立了压印机温度测量关键点处的温度与压头在x、z方向热误差关系的数学模型.实验结果与模型计算结果的对比分析表明,模型的热误差预测精度在x方向可以达到899/6,而在z方向可以达到939/6.应用表明,该方法是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法,可避免热误差建模过程中的变量耦合问题,从而提高了模型的精确性.  相似文献   
102.
介绍了3种测角方法,对这3种测角方法进行了比较,提出了若干减小误差、提高测量精度的建议。  相似文献   
103.
给出了Poisson方程的一种Mortar型广义差分法,试探函数空间取为一次有限元空间,检验函数空间取为与对偶单元相对应的分片常数空间,并给出了一个相应的误差分析结果.  相似文献   
104.
喻洪麟 《光子学报》1998,27(6):573-576
对微型圆光栅刻划偏心误差问题进行了讨论。提出了微型圆光栅刻划时偏心调试误差的公差范围。  相似文献   
105.
106.
Summary The complete error potential is used for the study of the correlation of molecules. The correlation can be seen as a relaxation of the electrons and a relaxation of the nuclei. From the Fermi sea, the electronic relaxation gives rise to a partial excitation of each orbital which collectively generates a linear, a surface or a volume pressure; the resulting forces acting on the nuclei are defined in a general theory of the intramolecular forces. H3, H 3 + , the diatoms and the hydrid of the first nine elements are taken as examples.  相似文献   
107.
通过使用“可磨式”人工热电偶进行的不同条件下的磨削温度测量试验研究了钢坯磨削工件表层温度,结果表明钢坯被磨削表层温度分布与热强呈三角形分布时的理论分析结果相同,表层峰值温度随磨削压力及磨削功率增大而提高,且随工件进给速度提高而略有降低,峰值温度还随磨削角度减小而提高,90°磨削的峰值温度比0°磨削要低250℃左右,砂轮种类也对峰值温度有重要影响,使用锆刚玉砂轮时磨削温度低于棕刚玉砂轮,试验结果表明高效钢坯磨削的磨削区温度远比普通磨削为高,可达1200℃左右,还从不同方面探讨了磨削高温对钢坯磨削的影响,认为尽管磨削高温有若干不利影响,但对高效钢坯磨削却是重要条件,上述讨论,从一个方面揭示了钢坯磨削机理,并验证了关于钢坯磨削温度的理论分析结果。  相似文献   
108.
Two simple methods to calculate the area and volume called improved square gridmethod and cube cutting method are proposed in this paper. For any plane curve orspace surface satisfying certain conditions, by our method, the error of measurement isof the second infinitive order of measuring unit (the side length of the square grid or theside length of the little cube) when the unit is small enough. And when some properties ofthe curve or the surface can be found or its varying bounds can be evaluated, it is pointedout, in order to make the error smaller than any given value, how small the length of themeasuring unit should be.  相似文献   
109.
呋喃-乙酸分子间相互作用的量子化学研究   总被引:6,自引:0,他引:6  
用密度泛函理论B3LYP方法选取6-311++G(d,p)基组对呋喃-乙酸复合物进行了量子化学计算研究, 通过在相同水平下的频率振动分析发现了该势能面上6个极小值点, 其最稳定构型对应一强O…H—O型氢键, 其结合能在消除基组重叠误差后为-20.87 kJ•mol-1. 通过自然键轨道(NBO)分析, 研究了电荷转移及轨道相互作用. 通过自洽反应场(SCRF)理论中的Onsager 溶剂模型在介电常数分别为1.0, 2.247, 4.9, 7.58, 10.36, 20.7, 32.63, 38.2, 46.7, 78.39的不同溶剂环境下重新优化呋喃与乙酸势能面上最稳定构型A, 研究了溶剂对呋喃-乙酸复合物几何构型、电荷分布、偶极矩以及结合能的影响. 发现溶剂化作用增大了呋喃与乙酸分子间的结合能, 导致O…H距离减小, H—O振动频率红移. 当溶液介电常数在1.0~32.63范围时, 溶剂效应十分显著, 当介电常数大于32.63后, 溶剂化作用几乎达到了极限.  相似文献   
110.
The validity of any model depends on its ability to imagine the situation or problem to which it is applied. Further, the assumptions made in relation to the model are determining for the actual outcome. Within the field of clinical biochemistry a lot of models for analytical quality specifications, based on a variety of concepts and ’clinical settings’, have been proposed. A hierarchical structure for application of these approaches and models has been agreed on at several occasions in 1999. In this hierarchy, the highest rank is given to evaluation of analytical quality specifications based on ’clinical settings’/’clinical outcome’ models, followed by specifications based on biological variation and on ’clinicians opinions’. This contribution, deals with the problems of combining random and systematic errors and the implications of application of different models to a variety of clinical settings. Received: 1 June, 2002 Accepted: 17 July 2002 Presented at the European Conference on Quality in the Spotlight in Medical Laboratories, 7–9 October 2001, Antwerp, Belgium  相似文献   
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