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41.
42.
研究了HfN/HfO2高K栅结构p型金属-氧化物-半导体(MOS)晶体管(MOSFET)中,负 偏置-温度应力引起的阈值电压不稳定性(NBTI)特征.HfN/HfO2高K栅结构的等效 氧化层厚度(EOT)为1.3nm,内含原生缺陷密度较低.研究表明,由于所制备的HfN/HfO2 高K栅结构具有低的原生缺陷密度,因此在p-MOSFET器件中观察到的NBTI属HfN/HfO2高K栅结构的本征特征,而非工艺缺陷引起的;进一步研究表明,该HfN/HfO2高K栅结构中观察到的NBTI与传统的SiO2基栅介质p-MOSFET器件中观察 到的NBTI具有类似的特征,可以被所谓的反应-扩散(R-D)模型表征: HfN/HfO2 栅结构p-MOSFET器件的NBTI效应的起源可以归为衬底注入空穴诱导的界面反应机理,即在负 偏置和温度应力作用下,从Si衬底注入的空穴诱导了Si衬底界面Si-H键断裂这一化学反应的 发生,并由此产生了Si+陷阱在Si衬底界面的积累和H原子在介质层内部的扩散 ,这种Si+陷阱的界面积累和H原子的扩散导致了器件NBTI效应的发生.
关键词:
高K栅介质
负偏置-温度不稳定性(NBTI)
反应-扩散(R-D)模型 相似文献
43.
麻鑫汉 《浙江师范大学学报(自然科学版)》1995,18(3):23-24
本文给出了Meyer-Konig-Zeller算子的一个新的逼近阶估计,推广了文〔1〕中的结果。 相似文献
44.
在MP2水平上采用6-311G基组计算了van der Waals复合物X…H2O(X=Li, Na, K)的非线性光学性质(μ, α, β), 讨论了基组效应和电子相关效应对计算结果的贡献. 在MP2/6-311++G(2df, 2pd)水平上计算得到的三个复合物分子X(X=Li, Na, K)•••H2O的非线性光学性质. 结果表明, 三种复合物分子均具有巨大的一阶超极化率, 其中最外层电子的弥散特性对一阶超极化率有很大的影响. 相似文献
45.
目视催化褪色计时法测定超痕量钒的研究 总被引:6,自引:1,他引:6
本文基于在酸性介质中钒(V)催化溴酸钾氧化酸性铬蓝K褪色的新指示反应,建立了一个催化褪色计时法测定超痕量钒的新方法。在体系中引入活化剂抗坏血酸,灵敏度达2×10~(-12)ng/ml,测定范围在0.0l~3.0ng/ml,同时探讨了反应机理。确立了反应速率方程,方法简便经济,已用于天然水中痕量钒的测定。 相似文献
46.
47.
LaSrBO4(B=Cu、Ni、 Co、 Fe、 Mn、 Cr ) was studied with respect to their preparation, characteristics and catalytic oxidation activity by means of XRD, XPS, electric conductivity and activity evaluation. Results showed that the calcination temperature has great influence on the formation of the phases of such samples, and was associated with the radius of B ion. The greater the B ion radius, the higher the calcination temperature required for the formation of the phases. It was also found that the activity and the relative content of adsorptive oxygen and lattice oxygen on the sample surf are, the activation energy of electron conduction and the CO oxidation activity may vary with different B ions, and demonstrate a dual-peak pattern with the increase in the number of 3d electrons of the B ion. 相似文献
48.
随着微型计算机在我区的应用普及,许多用户已从分散、独立的单机作业向着联网作业迈进。国际标准化组织已推出一种开放式系统互连七层参考模型,这一模型已得到国际电报电话咨询委员会的承认,成为国际上网络通信的标准化基础。在许多局部网络中,K-NET因高效、低价、易学易用而对用户具有很强的吸引力。K-NET所采用的新思想和技术完全遵循OSI标准。因此,K-NET是值得推广的先进产品。 相似文献
49.
总结近两年来有关完全不可约算子更深入的工作。它包括了如下几个方面:(1)完全不可约算子的谱图形和精致的完全不可约算子的存在性;(2)算子的完全不可约分解的唯一性;(3)完全不可约算子的紧扰动和(u+K)轨道。文中列出的一些结果回答了江泽坚、Her-rero有关完全不可约算子的部分猜测和问题。 相似文献
50.
康东升 《烟台师范学院学报(自然科学版)》1998,14(2):85-90
运用常微定性理论的相平面分析方法讨论了自催化反应中的Kaas-Petersen模型,得到了行波存在的各种可能结果。 相似文献