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光学光刻是目前超大规模集成电路(VLSI)制备中主要的微米和亚微米的图形加工技术,这一技术将继续保持其主导地位成为90年代VLSI发展的关键。本文综述了近年来光学光刻工艺的发展,主要介绍了G线(436nm)、Ⅰ线(365nm)和准分子激光光刻的现状,并对实现高的光学光刻分辨率所必须解决的透镜设计、套准精度和像场面积等问题作了详细描述。最后展望了发展方向、 相似文献
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本文研究了带跳的非线性随机微分方程Lyapunov指数的估计,在适当的条件下,确定其Lyapunov指数q的值.对于给定的步长h,考虑此微分系统的Euler离散化模型,给出了的理论误差估计. 相似文献
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对大熊猫的妊娠期为83-181天这种奇特的生理现象,生物学家们普遍认为是大熊猫胚泡延缓着床而产生的,是什么原因引起大熊猫泡延缓着床呢?至今,还涮有一个令人信服的理论来解释它,本文试从物理学能量的角度,提出大熊猫产生胚泡延缓着床的诸多因素之一的精子在输卵管内获能的不同情况的物理理论。 相似文献
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李庆文 《科技情报开发与经济》2004,14(2):243-244
结合太原市康西路的具体情况,描述了城市道路缓和曲线的测设。通过采用测距仪和极坐标方法,利用施工导线放取道路缓和曲线的主要点,采用偏角法对道路缓和曲线布点进行详细测设,有效地提高了各主要点的点位精度,减少了测设中的误差,保证了道路缓和曲线线型的圆滑。 相似文献
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局部对称共形平坦黎曼流形中具有平行平均曲率向量的子流形 总被引:8,自引:0,他引:8
本文把[1]的结论推广到了环绕空间是局部对称共形平坦的情形,即获得了:设M~是局部对称共形平坦黎曼流形N~+p(p>1)中具有平行平均曲率向量的紧致子流形,如果则M~位于N~+p的全测地子流形N~+1中。其中S,H分别是M~的第二基本形式长度的平方和M~的平均曲率,T_C、t_c分别是N~+p的Ricci曲率的上、下确界,K是N~+p的数量曲率。 相似文献