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采用三维粒子模拟模型研究了有限尺寸方靶等离子体浸没离子注入过程中的鞘层动力学行为,得到了鞘层尺寸和方靶表面的注入剂量、注入能量以及注入角度等信息,并与二维无限长方靶注入结果进行了对比.模拟结果表明,与无限长方靶不同,有限尺寸方靶周围鞘层很快扩展为球形,但鞘层厚度明显减小.在模拟的50ω-1pi时间尺度内靶表面注入剂量很不均匀,中心区域注入剂量最小,四个边角附近位置注入剂量最大.这种剂量不均匀性是由于鞘层扩展为球形,使得鞘层内离子被聚焦并注入到边角附
关键词:
等离子体浸没离子注入
数值模拟
三维粒子模拟
有限尺寸方靶 相似文献
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用对向靶反应溅射法制备了α″- Fe1 6 N2 薄膜 ,用 X射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜(TEM)和振动样品磁强计 (VSM)对α″- Fe1 6 N2 的结构、磁性以及结构的热稳定性进行了分析讨论 .结果表明 ,随退火温度的升高 ,α″- Fe1 6 N2 相逐渐分解为 α″- Fe和 γ′- Fe4N两相 .对磁性的分析表明 ,造成饱和磁化强度存在较大差异的原因与其内在的结构差别有很大的关系 . 相似文献
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早在1980年前,因缺乏对分子病理学的了解,药品工业一般被认为是一种寻求化学制品使用的高利润化学工业。随着我们进入分子药物发现的年代,这种工业很快成为一种寻找足够的、专一的、有关疾病的潜在分子靶的生物工程。现在,分子生物技术的发展提供了快速测定必要的所有相关基因组的方法,也提供了相关药物发现的作用靶的大量生物信息,因此带来了疾病治疗的新挑战。1靶蛋白的确证要寻找基因药物,最直接的任务是根据分子生物学所阐明的基因组序列去选择病理过程涉及的基因。产业上的任务是增加测定DNA序列的生物构建上的投资。为了提高… 相似文献
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气体靶激光等离子体软X-射线源实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种无碎屑、高亮度、高工作频率的气体靶激光等离子体软X 射线源。其喷气阀门由压电陶瓷驱动 ,工作频率可达到 40 0Hz。与金属靶激光等离子体软X 射线源相比 ,此光源无碎屑。与喷嘴由电磁阀控制的气体靶激光等离子体软X 射线源相比 ,它有较高的工作频率。一工作在模拟模式的通道电子倍增器被用于探测来自光源的软X 射线辐射 ,其输出信号经过一电荷灵敏前置放大器进一步放大变成电压脉冲信号 ,脉冲幅度与输入电荷灵敏前置放大器的电量成正比。实验测得CO2 ,Xe和Kr在 8~ 2 2nm软X 射线投影光刻常用波段的光谱辐射特性。CO2 光谱包括类锂和类铍离子跃迁形成的线谱 ,Xe光谱是多电荷氙离子 4d 5f,4d 4f,4d 6p和 4d 5p跃迁所形成的光谱。Kr气体靶光谱包括类铜离子、类镍离子、类钴离子和类铁离子跃迁形成的线谱和连续谱。 相似文献
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煤层气作为一种洁净的非常规性天然气资源,越来越受到有关部门的重视。煤层气的开发利用能够改善能源结构,从根本上防止煤矿瓦斯事故,改善大气环境,保护人类的生存环境。充分研究、开发、利用这一宝贵的矿产资源,选择勘查靶区尤为重要。煤层气含气量影响因素 相似文献