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61.
A Novel Contactless Method for Characterization of Semiconductors:Surface Electron Bean Induced Voltage in Scanning Electron Microscopy
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We present a novel contactless and nondestructive method called the surface electron beam induced voltage (SEBIV) method for characterizing semiconductor materials and devices.The SEBIV method is based on the detection of the surface potential induced by electron beams of scanning electron microscopy (SEM).The core part of the SEBIV detection set-up is a circular metal detector placed above the sample surface.The capacitance between the circular detector and whole surface of the sample is estimated to be about 0.64pf.It is large enough for the detection of the induced surface potential.The irradiation mode of electron beam (e-beam) influences the signal generation When the e-beam irradiates on the surface of semiconductors continuously,a differential signal is obtained.The real distribution of surface potentials can be obtained when a pulsed e-beam with a fixed frequency is used for irradiation and a lock-in amplifier is employed for detection.The polarity of induced potential depends on the structure of potential barriers and surface states of samples.The contrast of SEBIV images in SEM changes with irradiation time and e-beam intensity. 相似文献
62.
63.
章利用基于三次B样条插值的边界元方法,对振动体外部声辐射问题进行了研究,对CHIEF法及其改进方法作了进一步的改进,提出在加权余量意义下,通过把内部Helmholtz积分方程与其对内点坐标取导后的方程式作线性叠加,在域外构作的一个小体积块上进行积分以形成补充方程,经与表面Helmholtz积分方程相结合,来求解任意频率下的声辐射问题,并以脉动球和摆动球作为算例,说明本提出的方法能够有效地克服在特殊频率处解的非唯一性问题。 相似文献
64.
泊松类型方程边界元解法 总被引:2,自引:0,他引:2
本文采用高阶拉普拉斯算子基本解将泊松类型方程的区域积分全部变换成边界积分,使计算问题的维数减少一维.通过斯托克斯方程的算例,表明本文所用的方法是有效的方法。 相似文献
65.
66.
陈隆懋 《光谱学与光谱分析》1997,17(4):73-76
本文对国产WLY100型顺序扫描ICP光谱仪在设计中对单色仪,高频发生器,扫描机构,测光系统,短紫外光域的测量,恒温,气流控制与软件编制等方案的选择作了详尽的阐述,稳妥的方案使研制工作顺利进行,保证整机一次成功。 相似文献
67.
用三维样边界元法分析水闸闸室结构。底板,闸墩和载水墙等为其子结构,交通桥,工作桥和胸墙等处理为内部支撑。地基和边载可以是任意的,只要能给定地表位移面力关系。在各种工况下,不论是设置平板门还是弧形门,是平底板是反拱底板,即使在稀疏剖分下也能给出高精度的位移场,应力场和地基反力场。 相似文献
68.
中用Galerkin方法和先验估计证明了带有阻尼项的RLW方程周期边界问题周期强解的存在唯一性,并在较弱的光滑性条件下,得到了强解的光滑性。 相似文献
69.
TANGWEIJUN 《高校应用数学学报(英文版)》1997,12(4):427-440
In this paper, a new method of boundary reduction is proposed, which reduces thesteady-state heat transfer equation with radiation. Moreover, a boundary element method is pre-sented for its solution and the error estimates of the numerical approximations are given. 相似文献
70.
陈功 《达县师范高等专科学校学报》2006,16(2):24-27
网络是否畅通和安全,是充分利用网络资源的基本保证.从网络安全策略的角度出发,对校园网络管理中的安全问题进行了划分,主要包括安全概念、安全方案、安全周期等.对安全方案进行分类,概括为:基础结构安全、管理安全和边界安全,并着重对边界安全中防火墙技术应具有的功能进行探讨. 相似文献