压印光刻中的两步对正技术

压印光刻中套刻需要粗、精两级对正.实验采用一对斜纹结构光栅作为对正标记.利用物镜组观察光栅标记图像的边界特征进行粗对正,其准确度在精对正信号的捕捉范围内;利用光电接收器件阵列组合接收光栅莫尔信号,在莫尔信号的线区进行精对正.由于线性区的斜率大, 精对正过程中得到相应x,y方向的对正误差信号灵敏度高,利用高灵敏度对正误差信号作为控制系统的驱动信号,对承片台进行驱动定位,实现精对正.最终使X,Y方向上的重复对正准确度分别达到了± 21 nm(± 3σ)和±24 nm(± 3σ).     

一种新的莫尔条纹法

单色平行光照明全息双频位相光栅,1级衍射的直条纹投射到物体上,在另一相同光栅的1级衍射像中出现莫尔条纹.     

光栅传感器在油泵试验台喷油量测控中的应用

对光栅传感器输出的两个相差 90°的莫尔信号 ,用内差法进行细分 (倍频 )。使其在莫尔信号变化的一个周期内 ,输出 10个均匀分布的计数脉冲 ,并用计数器对之进行计数 ,从而实现了喷油泵喷油量的测量与控制。实际应用表明 ,用此方法进行测量 ,试验台工作稳定 ,抗干扰性强 ,精度大为提高。     

用于短波长RT不稳定性的莫尔条纹成像技术

瑞利-泰勒(RT)不稳定性对内爆有十分不利的影响,在很多情况下,10μm左右的波长的小尺度扰动增长是最快的,这要求诊断设备的空间分辨好于几μm,但是现有的设备难以做到这一点。为了测量短波长的RT不稳定性,利用莫尔条纹技术的差拍放大作用,发展了莫尔条纹技术,并在“星光Ⅱ”装置上进行了莫尔干涉法的实验。采用两个周期相近10μm和12μm的光栅成像,获得了周期为60μm的清晰的莫尔条纹图像,图像放大了5倍。实验结果表明,莫尔条纹技术是可行的。     

频移阴影莫尔法

提出了一种新的莫尔条纹解调技术即频移法，它改变了莫尔条纹分布的频率，而相移莫尔法只是改变了莫尔条纹的相位。从阴影莫尔图分布的基本公式出发，借助于相移阴影莫尔法的思想推导并得出了频移阴影莫尔法的公式，在此基础上给出了特定条件下的产和公式。     

二维莫尔超晶格中的非线性霍尔效应

1879年发现的霍尔效应是凝聚态物理学中最古老也是最重要的领域之一.最近发现的非线性霍尔效应是霍尔效应家族的新成员.与大部分需要打破时间反演对称的霍尔效应不同,非线性霍尔效应存在于少数空间反演破缺但仍具有时间反演对称的系统中,并且因其高频特性和不需额外施加磁场而在诸多领域具有令人期待的应用前景.然而,除空间反演破缺以外,非线性霍尔效应对材料对称性的要求十分苛刻,只在极少数材料中观测到了由贝里曲率偶极矩产生的非线性霍尔效应.近年来快速发展的范德瓦耳斯堆叠技术为剪裁和调控晶体的对称性,制备具有特殊物理性质的人工二维莫尔晶体提供了一个崭新的途径.本文主要围绕二维莫尔超晶格结构在实现非线性霍尔效应方面的特性,介绍了近年来理论和实验上石墨烯超晶格以及过渡金属硫族化合物超晶格中非线性霍尔效应的研究进展,并展望了未来基于二维莫尔超晶格材料的非线性霍尔效应的研究方向和应用前景.     

航海史上最诡异的“幽灵船之谜”

1872年12月5日,英国戴·格雷西亚号双桅船上的船员在亚述尔群岛东面的海面上发现了在激浪中随波逐流的一艘船。船长莫尔豪斯惊讶地发现,这艘无人驾驶的船正是比他早8天离开纽约的玛丽·赛勒斯特号。于是船长莫尔豪斯决定改变航道,前去救援。船上乘员已成冤魂?莫尔豪斯派了一支救援小队登上玛丽·赛勒斯特号,只见舰舱内一片狼籍,海图甩得到处     

几种莫尔条纹的移动和变化

本文讨论了几种莫尔条纹的移动和变化情况，分析了两排桥栏杆形成的莫尔条纹随观察者移动的情况；平行线栅与波带片状条纹相对移动时莫尔条纹的“吞”“吐”；两簇等间距圆形条纹圆心间距的改变对莫尔条纹的影响     

照射型莫尔轮廓法中原理性误差的校正

提出在照射型莫尔轮廓法中存在着原理性误差,导出校正此类误差的计算公式。用实验拍摄锥形试件的莫尔轮廓,经过对照片的判读和计算,证实了所提供公式的正确性。     

用连分数定义莫尔条纹"准周期"

由两组平行周期条纹叠加而成的莫尔条纹并非严格的周期结构,其近似的周期性在数学上等价于对任意实数的最佳有理逼近.通过将两条纹周期之比近似为其连分数的各阶渐进分数,可系统性地严格定义莫尔条纹各阶"准周期"并计算其长度;实际观察到的莫尔条纹的周期,是满足非周期程度低于经验阈值的最低阶准周期.基于莫尔条纹与连分数展开之间的对应关系,可以找到一类具有严格周期性的莫尔条纹,以及一类"周期性最差"的黄金比例莫尔条纹.本文建立了莫尔条纹与实数基本性质的联系,对莫尔条纹现象的本质提供了新的理解,对所有周期叠加问题都具有普适意义.