Effect of E × B electron drift and plasma discharge in dc magnetron sputtering plasma

Study of electron drift velocity caused by Etimes B motion is done with the help of a Mach probe in a dc cylindrical magnetron sputtering system at different plasma discharge parameters like discharge voltage, gas pressure and applied magnetic field strength. The interplay of the electron drift with the different discharge parameters has been investigated. Strong radial variation of the electron drift velocity is observed and is found to be maximum near the cathode and it decreases slowly with the increase of radial distance from the cathode. The sheath electric field, E measured experimentally from potential profile curve using an emissive probe is contributed to the observed radial variation of the electron drift velocity. The measured values of the drift velocities are also compared with the values from the conventional theory using the experimental values of electric and magnetic fields. This study of the drift velocity variation is helpful in providing a useful insight for determining the discharge conditions and parameters for sputter deposition of thin film.     

电磁消涡与减震技术研究

利用流体边界层上的电磁体积力控制流体边界层的周期性脱落与分离,限制尾流涡街的产生,从而实现消除涡流和减少涡生震动的目的.理论分析和实验研究表明,当圆柱表面包覆的电磁场作用参数N＞1,包覆磁场强度B≥0.5 T,流体边界层表面电流密度j为103 A/m2数量级时,对于一般情况下的流场参数而言,流体边界层上的电磁体积力具有十分良好的消涡与减震控制作用效果.优化圆柱体表面的电磁场包覆范围,可以提高电磁消涡减震控制效率.当流体边界层上的电磁体积力方向与流体边界层的流动方向相反时,电磁力又具有显著的增涡增震控制作用效果.     

一种基于波导并联结构的高功率铁氧体移相器

提出了一种多路波导并联结构,用于实现高功率移相器。目前的铁氧体移相器,为实现高功率容量,通常采用双铁氧体磁环结构。仿真分析了各尺寸参数对双环移相器传播模式、相移效率及功率容量的影响,并进行优化设计,使移相器功率容量达到百kW量级。基于双环形式,采用一种多路波导并联结构,使其功率容量达到MW量级。经匹配设计后,移相器在9.25~9.8 GHz频率范围内,驻波比小于1.4,饱和差相移在390左右,可实现X波段MW级高功率360电控移相。     

高功率微波场磁光传感技术研究

本文介绍一种利用磁光晶体记录特性进行高功率微波场矢量测量的传感技术。对返波管振荡器微波场的多点阵列测试表明,该传感系统对被测场无影响,抗干扰能力强,空间分辨率为0.001m,可测出场的主要模式成份TM01、TE01和TE11,以及各成份的场强和功率,对总功率的估算值与喇叭耦合测量结果有较好的一致性。     

旋转磁单极子场方程的研究

从‘t Hooft磁单极子和Julia-Zee双子的场方程及其严格经典解出发,推导了稳态旋转磁单极子的场方程.并讨论了旋转对磁单极子解随旋转角速度增大的变化情况.     

带电粒子在匀强电场、匀强磁场中运动的轨迹

对带电粒子与匀强电场、匀强磁场成不同的夹角进入场中的运动轨迹问题,根据不同的情况分别进行了讨论     

磁场强度波形畸变对交流磁滞回线形状的影响

测量了软磁铁氧体环形样品在不同条件下的交流磁滞回线,发现磁滞回线形状随交流磁场强度H的幅值、频率而变化.交流磁滞回线形状的变化是由于磁场强度H波形畸变造成的,在弱交变场下,当磁感应强度B作正弦变化时,磁场强度H也作正弦变化,此时磁滞回线形状为椭圆;当磁场增强时,H-t曲线发生了不同程度畸变,且磁场强度越强,H-t曲线畸变程度越严重,此时磁滞回线变弯变尖,呈胖S形.通过理论分析及实验拟合对磁滞回线形状变化做出了解释.     

平行共轴双线圈的空间磁场研究

通过计算机及相关的传感器和数据采集接口辅助,获得了平行共轴双线圈的空间磁场分布,并从数值模拟和实验测量两个角度进行了对比研究,在一定程度上弥补了传统亥姆霍兹线圈磁场测量的不足并有助于对其深入的理解和研究.     

导电介质表面边界问题的处理

介绍笔者在"电磁场与微波技术"的教学中,对导电介质表面边界问题的处理方法,可弥补教材不足,引导学生深入思考,提高学习能力.