自支撑透射光栅的设计、制作和测试

采用标量衍射理论和严格耦合波理论分别计算和讨论了金自支撑透射光栅的衍射效率随波长和光栅周期变化的情况并设计了光栅的结构参数.制作了周期为300 nm、线宽/周期比为055、厚度为200 nm、总面积为1 mm×1 mm、有效面积比为65%的金自支撑透射光栅.在国家同步辐射实验室检测了该光栅在55—38 nm波长范围内的绝对衍射效率.检测结果表明所制作的光栅在8 nm附近具有接近10%的最大衍射效率,并且该光栅对于波长15—35 nm范围内的极紫外波段具有基本稳定的衍射效率. 关键词： 自支撑透射光栅 电子束光刻 电镀     

2000 l/mm X射线镂空透射光栅的制备研究

在满足工艺要求的前提下,通过模拟光栅衍射,设计出镂空透射光栅模型,在此基础上将电子束和X射线光刻技术相结合,研究了制造2000 l/mm X射线镂空透射光栅的新工艺技术.首先利用电子束光刻和微电镀技术在镂空聚酰亚胺薄膜底衬上制备X射线母光栅掩模.然后利用X射线光刻和微电镀技术实现了光栅图形的复制,之后采用紫外光刻和微电镀技术制作加强筋结构,最后通过腐蚀体硅和等离子体刻蚀聚酰亚胺完成镂空透射光栅的制作.从此新的制造工艺结果上来看.制备的光栅栅线平滑,占空比合理,侧壁陡直,不同光栅之间一致性好,完全可以满足应用需求,充分表明了该制造技术是透射式X射线衍射光学元件制造的良好选择.     

火焰原子吸收法测定氰化镀银液中的铜和铁

提出了用火焰原子吸收光谱法测定氰化镀银液中铜、铁含量的方法,在测定条件下,其他共存元素均无干扰。该方法的相对标准偏差为铜（1.92%-2.63%、铁3.13%-3.73%,样品加标回收率为铜96.8%-101.6%、铁97.5%-101.1％。     

超声辅助电镀的仿真与实验*

为了提高镀层的表面质量,提出了一种超声辅助电镀的方法。超声的空化与搅拌作用可以影响电镀的电沉积过程。设计了合理的换能器结构,并搭建了超声辅助电镀装置。通过对模型进行压电声学场与电镀场耦合仿真分析,结果表明：在硫酸铜电解液,镀铜时间60s,电压300V条件下,进行超声辅助电镀,镀层厚度分布均匀,镀层中部电流密度分布均匀,边缘最大电流密度是未加超声的2倍左右 。基于仿真结果,进行相同的实验测试,结果表明：超声辅助电镀可以提高镀层的均匀性,减少铜颗粒表面的杂质,提高表面的光洁度。阴极样品距离换能器头部位置在60mm左右,镀层质量良好。     

何季麟 贺兰山下的跨越

47年来,中色东方人艰苦创业、自主创新,研制了一批批新材料产品,为国家经济建设、国防建设作出了重大贡献、胡锦涛、江泽民、吴邦国、温家宝、贾庆林等党和国家领导人先后来到这里视察,殷切的期盼和深情的目光穿越岁月的风雨,一直温暖并鼓励着中色东方人奋然前行。     

芯片高密度互连电子电镀成形与性能调控技术研究

信息技术的飞速发展,对芯片性能提出了越来越高的要求,芯片中晶体管和电子互连的密度也在不断增加.电子电镀是大马士革以及芯片封装电子互连的主要成形方法,互连密度的提高对于电子电镀成形工艺及性能调控方法提出了许多新的要求.本文概述了本团队近几年在芯片高密度互连的电子电镀成形方法以及性能调控方面的研究成果,主要包括3D TSV垂直互连及大马士革互连的填充及后处理工艺、高密度凸点电镀成形方法及互连界面可靠性研究、特殊结构微纳互连的制备及性能调控方法、微纳针锥结构低温固态键合方法、水相化学及电化学接枝有机绝缘膜等工作,以期对芯片电子电镀领域的研究带来启迪,推动芯片高密度互连技术的发展.     

荧光分析法测定痕量铬(Ⅵ)

拟定了一个测定痕量铬（Ⅵ）的新的荧光分析法。在硫酸介质中,铬能氧化吡咯红Y。使其荧光猝灭,方法的检出限为2．2μg/L,线性范围为8．0－88μg/L。本法用于电镀废液、电镀液、合金钢中痕量Cr(Ⅵ）的测定,结果满意。     

高载酶量酶/酶免疫电极的制备及其电化学机理研究

本文利用扫描电镜和电化学方法确定了最佳镀铂电位,并进一步研究了酶电极和酶免疫电极在基体电极镀铂和未镀铂条件下的米氏常数、电化学反应速率常数和反应速度控制步骤。比较分析了生物电极的最佳实验条件。     

超高效液相色谱法测定甲基磺酸盐镀锡电镀液中对苯二酚北大核心CSCD

移取25.00mL样品,用水定容至100mL,用0.2μm水系滤膜过滤后制得样品溶液,采用BEH Amide色谱柱(3.0mm×150mm,1.7μm)分离,以0.010mol·L-1乙酸铵乙腈溶液-0.010mol·L-1乙酸铵水溶液(体积比为70∶30)为流动相,流量为0.40mL·min-1,采用蒸发光散射检测器。干扰试验表明:甲基磺酸盐镀锡电镀液中其他共存组分对对苯二酚的测定均没有干扰。对苯二酚质量浓度在10.0~100.0mg·L-1内,其质量浓度的对数与其峰面积的对数呈线性关系,检出限(3S/N)为2.21mg·L-1。方法用于测定甲基磺酸盐镀锡电镀液样品中的对苯二酚,测定值的相对标准偏差(n=11)为0.79%~1.2%,加标回收率为99.2%~102%,。按照甲基磺酸盐镀锡电镀液配方配制合成样品,采用试验方法对对苯二酚进行测定,测定值与理论值相符。     

铈对光亮镀锌层耐蚀性的影响

研究了铈对光亮镀锌层耐蚀性的影响，发现当镀液中铈盐浓度为０．１～０．２ｇ／Ｌ时，镀层耐蚀性提高约３５％。化学分析及Ｘ射线衍射试验表明，微量铈进入了镀层，并促使晶面产生取向效应。对镀液的若干性能测试证明，微量铈的加入，对基液的性能基本无影响。