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81.
后退火温度对溅射沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜结构和性能的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
在具有Ti缓冲层的Pt(111)底电极上,用射频溅射工艺在较低的衬底温度(370℃)和纯Ar气氛中沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,沉积过程中基片架作15°摇摆以提高膜厚的均匀性。然后将样品在大气中进行5min快速热退火处理,退火温度550-680℃。用XRD、SEM分析薄膜的微结构,RT66A标准铁电测试系统测量样品的铁电和介电性能。结果表明,所沉积的Pt为(111)取向,仅当后退火温度高于580℃,沉积在Pt(111)上的PZT薄膜才能形成钙钛矿结构的铁电相,退火温度在580-600℃时结晶为(110)择优取向,退火温度高于600℃时结晶为(111)择优取向。PZT薄膜的极化强度随退火温度的升高而增加,但退火温度超过650℃时漏电流急剧上升,因此退火处理的温度对PZT薄膜的结构和性能有决定性的影响。 相似文献
82.
微通道板及其发展趋势 总被引:2,自引:1,他引:1
回顾微通道板发展历史及各阶段的主要技术特征。综述自90年代以来国内外微通道板的研发和生产情况. 相似文献
83.
讨论电极电势ψ与电化学反应速率之间的关系,并对电化学中经常遇到的概念、公式进行论述.针对ψ、η、 0、 t0、k、kt0、ψe、β等容易混淆的符号及含义,通过详尽推导,加以澄清,强调了电化学与动力学之间的联系. 相似文献
84.
85.
本文通过对电流变液的边界层扩展研究,建立了一类新型单链拉伸模型,由此导出了系统屈服应力和等效单链力的计算公式,并将其计算结果与实验数据进行了比较。同时我们也给出了单链修理因子As的计算结果与实验数据的比较。 相似文献
86.
87.
88.
回顾了近年来在发电机护环各制造环节研究中所取得的主要成果,简要介绍了原材料冶炼、热成形制坯、强化性能三个关键工序攻关中取得的最新进展.针对当前生产中的难题和沿用工艺的缺点,开发的电渣熔铸坯料、包套冲挤(扩挤)热成形制坯新技术,能够解决热锻开裂、变形不均匀的难题,并可缩短工艺流程,提高产品质量与生产效益.研究的内增压或外增压液压胀形强化新方法,可以提高工艺过程的可控制性,并能扩大液压胀形的应用范围. 相似文献
89.
讨论了接触面为圆面的Hertz接触问题。若压会布是轴对称的,则该接触问题的解必是唯一的。且在上述条件下,该接触问题的积分方程化为两个推广的Abel积分方程组,此方程组的解便给出此接触问题的解。 相似文献
90.
电真空器件对钎料有清洁性要求 ,影响贵金属钎料清洁性的主要原因是加工过程的油污 .提出采用电化学除油的方法来保证钎料的清洁性 相似文献