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阐述了细分控制原理,介绍了一种基于细分控制原理的步进电机通用驱动器.并以86BYG步进电机为负载,用实际运行试验验证设计的可行性,得到比较满意的结果. 相似文献
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对微结构的制作、微装配系统进行了研究. 采用飞秒激光双光子聚合微加工技术制作有底座、精细的三维立体“拱形”微结构, 其高250μm、长300μm、厚50μm. 将此微结构与实验室自主搭建的二维微装配平台相结合, 利用自主编程的人机交互界面驱动步进电机, 远程操控微装配设备; 将荧光闪烁陶瓷粉末装配到微结构中, 对装配后的微结构进行荧光光谱表征发现, 纯荧光粉末和微结构中的荧光粉末的发射光谱在测量误差范围内基本一致, 表明荧光粉末的光学性质未发生改变. 利用该装置可以将各类微纳米级材料和微结构进行装配, 形成含有不同材料的微结构系统. 相似文献
87.
投影光刻机硅片调焦调平测量模型 总被引:4,自引:1,他引:4
成像质量是光学光刻机的最主要指标,硅片调焦调平测量是光刻机控制成像质量的基础.为此建立了硅片调焦调平测量系统单个测量点的测量模型,并根据硅片形貌标准和集成电路尺寸标准,推导了近似运算规则,简化了曝光场高度与测量光斑在光电探测器上的位置之间的数学关系.运用最小二乘法和平面拟合曝光场曲面的方法,推导了基于多个测量点的曝光场高度和倾斜测量的数学模型.该模型能满足调焦调平实时测量和控制的需要,可用于测量精度优于10 nm的高精度调焦调平测量系统,能满足线宽小于100 nm投影步进扫描光刻机的需要. 相似文献
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程新华 《中国新技术新产品精选》2014,(9)
电动单梁起重机其主梁与端梁中心线一般情形下都是相互垂直的,但由于使用单位的场地限制和使用情况所影响,根据客户要求将起重机的主梁与端梁中心线设计成不垂直,主梁与端梁斜成4米,以满足客户的使用要求。本文主要通过对此类电动单梁起重机的主梁受力进行分析计算,提出了"斜式"电动单梁起重机稳定性的设计相关问题。 相似文献
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2010年12月30日,我国第一辆完全自主知识产权的国产地铁电动车(B型)以最高100公里的时速奔驰在北京地铁房山线,引起了媒体和大众的“集体围观”,成为当天房山地铁开通新闻的“一抹亮色”。 相似文献
90.
为解决纯电动客车前风挡玻璃的除霜、除雾问题,设计了一种除霜效果好、热转换效率高的电除霜器,实现节能降耗,延长纯电动客车的行驶里程。 相似文献