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光学光刻是目前超大规模集成电路(VLSI)制备中主要的微米和亚微米的图形加工技术,这一技术将继续保持其主导地位成为90年代VLSI发展的关键。本文综述了近年来光学光刻工艺的发展,主要介绍了G线(436nm)、Ⅰ线(365nm)和准分子激光光刻的现状,并对实现高的光学光刻分辨率所必须解决的透镜设计、套准精度和像场面积等问题作了详细描述。最后展望了发展方向、 相似文献
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电子政务安全建议--摘自美国政府对公共部门首席信息官的呼吁 总被引:1,自引:0,他引:1
这是一份美国全国州首席信息官协会唐·海曼的关于如何提高公共部门信息安全水平的建议书,它以建议的形式向地方、州和联邦政府首席信息官,发出安全呼吁。借鉴美国政府在此方面的丰富经验和教训,对形成具体、可实施性强的我国信息安全保障国家战略或许会有所裨益。 相似文献
64.
通过对上海液压泵厂生产的ZB30-740型液压泵手动伺服变量机构进行改进,使之能实现恒功率变量,并适用于愉速液压机的回路字流,中,提高液压泵的使用效率。 相似文献
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66.
马举贤 《达县师范高等专科学校学报》2006,16(6):100-103
专升本院校要实现可持续发展,必须做好"六定"工作,即定办学理念和思路、定任务、定专业、定学制、定规模和定编制.同时,必须规范学校及各组织机构的行为.学校各组织机构既相互区别,又紧密联系.为确保其工作的有效性和提高工作效率,在相互关系中必须遵循系统理论和组织学说的基本原则. 相似文献
67.
介绍了平面机构运动数字化控制系统的设计,其设计主要是对机械原理实验室中平面机构运动演示板进行改进,从原来的以单片机为控制核心到以微机系统为核心,系统控制本质是通过对解说语音文件的操作来达到对126个机构进行任意的操作,并且在性能上实现了易调试、可视化、多媒体等特点和功能,使教学效果得到显著提高,同时对于工业网络控制也具有一定的借鉴作用。 相似文献
68.
69.
基于对中小企业信用担保机构现状的分析,借鉴民营担保机构的运作模式,探索政府担保机构的运作模式的创新。 相似文献
70.
提出了在结构可靠性设计中,根据现有加工条件和设计要求确定几何尺寸变差系数的思想,并给出了当已知精度等级时,直接加工尺寸和组合尺寸变差系数的计算方法和程序。采用该方法使可靠性设计更切合实际。 相似文献